Grafitinės įvorės puslaidininkinei įrangai

Siųsti užklausą
Grafitinės įvorės puslaidininkinei įrangai
Detalių
Grafitinės rankovės puslaidininkinei įrangai
Jincheng Graphite, kaip profesionalus grafito įvorių gamintojas, tiekia aukštai{0}}temperatūrai atsparias ir didelio šilumos laidumo grafito movas puslaidininkinei įrangai. Šios movos yra specialiai sukurtos aukštos-temperatūros reakcijos kameroms ir vakuuminei įrangai, pasižymi dideliu šiluminiu stabilumu, atsparumu korozijai ir ilgaamžiškumu. Jie plačiai naudojami puslaidininkių gamybos pramonėje.
Pagrindinis pranašumas
Atsparumas ekstremalioms temperatūroms: naudojant didelio -grynumo grafito (anglies kiekis didesnis nei 99,99 %) ir keraminio kompozito procesą, atsparumo temperatūrai diapazonas yra nuo -200 laipsnių iki 3000 laipsnių, tinkamas puslaidininkinėje įrangoje esant aukštai temperatūrai.
Didelis šilumos laidumas: derinant daugiasluoksnę grafito struktūrą ir vakuuminę kamerą, šiluminė varža sumažinama iki 0,05 K/W, todėl užtikrinamas vienodas aukštos temperatūros dujų pasiskirstymas ir išvengiama vietinio perkaitimo, sukeliančio medžiagos deformaciją.
Produktų klasifikatorių
Vaflių grafito laikiklis
Share to
Aprašymas

Grafitinės rankovės puslaidininkinei įrangai

Jincheng Graphite, kaip profesionalus grafito įvorių gamintojas, tiekia aukštai{0}}temperatūrai atsparias ir didelio šilumos laidumo grafito movas puslaidininkinei įrangai. Šios movos yra specialiai sukurtos aukštos-temperatūros reakcijos kameroms ir vakuuminei įrangai, pasižymi dideliu šiluminiu stabilumu, atsparumu korozijai ir ilgaamžiškumu. Jie plačiai naudojami puslaidininkių gamybos pramonėje.

 

Pagrindinis pranašumas

 

Atsparumas ekstremalioms temperatūroms

Naudojant didelio -grynumo grafitą (anglies kiekis didesnis nei 99,99 %) ir keramikos kompozito procesą, atsparumo temperatūrai diapazonas yra nuo -200 laipsnių iki 3000 laipsnių, tinkamas puslaidininkinėje įrangoje esant aukštai temperatūrai.

Aukštas šilumos laidumas

Derinant daugiasluoksnę grafito struktūrą ir vakuuminę kamerą, šiluminė varža sumažinama iki 0,05 K/W, užtikrinant vienodą aukštos -temperatūros dujų pasiskirstymą ir išvengiant vietinio perkaitimo, sukeliančio medžiagos deformaciją.

Stiprus cheminis stabilumas

Puikus atsparumas korozijai, galintis ilgą laiką stabiliai veikti puslaidininkių proceso dujose, tokiose kaip vandenilis ir azotas, sumažinant įrangos priežiūros dažnumą.

 

Taikymo scenarijus

 

Aukštos{0}}temperatūros reakcijos kameros įranga

Naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, tokiuose kaip CVD ir PVD, grafito įvorė gali tolygiai praleisti šilumą, pagerindama proceso stabilumą ir našumą.

Vakuuminė aplinkos šildymo sistema

Puslaidininkinių plokštelių džiovinimo ir atkaitinimo procesų metu grafito įvorė užtikrina tolygų šilumos pasiskirstymą, sumažindama šiluminio įtempimo riziką.

Didelės{0}}galios lazerinė įranga

Suderinamas su didelės{0}}energijos lazerio ertmėmis, jis greitai praleidžia šilumą per grafito įvorę, kad užtikrintų saugų įrangos veikimą.

 

Techniniai parametrai

 

Šilumos laidumas 250 - 400 W/m·K (pritaikoma pagal proceso reikalavimus)
Darbinės temperatūros diapazonas -200 laipsnių iki 3000 laipsnių
Tinkama dujų aplinka vandenilio, azoto, argono ir kt. puslaidininkių proceso dujos
Paviršiaus apdorojimas plazminis poliravimas / dengimas (pritaikomas)

 

Jincheng grafito kokybės užtikrinimas

Remdamasi 20 metų grafito medžiagų tyrimų patirtimi, Jincheng Graphite taiko patentuotą vakuuminio kompozito technologiją ir nanometrinio-gradito užpildymo technologiją, kad užtikrintų grafito įvorių stabilumą ekstremaliomis sąlygomis. Sertifikuotas pagal ISO 9001 kokybės sistemą ir AS9100 aviacijos ir kosmoso standartus, jis atitinka aukšto -patikimumo taikymo scenarijų reikalavimus.

Įsipareigojimas bendradarbiauti

Jincheng Graphite siūlo visą{0}}procesų pritaikytą paslaugą nuo projektavimo, gamybos iki pardavimo po-palaikydama nedidelę-paketinę bandomąją gamybą ir didelio-pritaikymą. Tai užtikrina trumpą pristatymo ciklą ir kontroliuojamas išlaidas. Per pasaulinį logistikos tinklą ir vietines aptarnavimo komandas jis siūlo efektyvius ir stabilius puslaidininkinės įrangos grafito įvorių sprendimus, padedančius užtikrinti ilgalaikį-stabilų didelio tikslumo procesų veikimą.

 

Populiarus Žymos: grafito įvorės puslaidininkinei įrangai, Kinijos grafito įvorės puslaidininkinės įrangos gamintojams, tiekėjams, gamykloms

Siųsti užklausą