Grafitinės rankovės puslaidininkinei įrangai
Jincheng Graphite, kaip profesionalus grafito įvorių gamintojas, tiekia aukštai{0}}temperatūrai atsparias ir didelio šilumos laidumo grafito movas puslaidininkinei įrangai. Šios movos yra specialiai sukurtos aukštos-temperatūros reakcijos kameroms ir vakuuminei įrangai, pasižymi dideliu šiluminiu stabilumu, atsparumu korozijai ir ilgaamžiškumu. Jie plačiai naudojami puslaidininkių gamybos pramonėje.
Pagrindinis pranašumas
Atsparumas ekstremalioms temperatūroms
Naudojant didelio -grynumo grafitą (anglies kiekis didesnis nei 99,99 %) ir keramikos kompozito procesą, atsparumo temperatūrai diapazonas yra nuo -200 laipsnių iki 3000 laipsnių, tinkamas puslaidininkinėje įrangoje esant aukštai temperatūrai.
Aukštas šilumos laidumas
Derinant daugiasluoksnę grafito struktūrą ir vakuuminę kamerą, šiluminė varža sumažinama iki 0,05 K/W, užtikrinant vienodą aukštos -temperatūros dujų pasiskirstymą ir išvengiant vietinio perkaitimo, sukeliančio medžiagos deformaciją.
Stiprus cheminis stabilumas
Puikus atsparumas korozijai, galintis ilgą laiką stabiliai veikti puslaidininkių proceso dujose, tokiose kaip vandenilis ir azotas, sumažinant įrangos priežiūros dažnumą.
Taikymo scenarijus
Aukštos{0}}temperatūros reakcijos kameros įranga
Naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, tokiuose kaip CVD ir PVD, grafito įvorė gali tolygiai praleisti šilumą, pagerindama proceso stabilumą ir našumą.
Vakuuminė aplinkos šildymo sistema
Puslaidininkinių plokštelių džiovinimo ir atkaitinimo procesų metu grafito įvorė užtikrina tolygų šilumos pasiskirstymą, sumažindama šiluminio įtempimo riziką.
Didelės{0}}galios lazerinė įranga
Suderinamas su didelės{0}}energijos lazerio ertmėmis, jis greitai praleidžia šilumą per grafito įvorę, kad užtikrintų saugų įrangos veikimą.
Techniniai parametrai
| Šilumos laidumas | 250 - 400 W/m·K (pritaikoma pagal proceso reikalavimus) |
| Darbinės temperatūros diapazonas | -200 laipsnių iki 3000 laipsnių |
| Tinkama dujų aplinka | vandenilio, azoto, argono ir kt. puslaidininkių proceso dujos |
| Paviršiaus apdorojimas | plazminis poliravimas / dengimas (pritaikomas) |
Jincheng grafito kokybės užtikrinimas
Remdamasi 20 metų grafito medžiagų tyrimų patirtimi, Jincheng Graphite taiko patentuotą vakuuminio kompozito technologiją ir nanometrinio-gradito užpildymo technologiją, kad užtikrintų grafito įvorių stabilumą ekstremaliomis sąlygomis. Sertifikuotas pagal ISO 9001 kokybės sistemą ir AS9100 aviacijos ir kosmoso standartus, jis atitinka aukšto -patikimumo taikymo scenarijų reikalavimus.
Įsipareigojimas bendradarbiauti
Jincheng Graphite siūlo visą{0}}procesų pritaikytą paslaugą nuo projektavimo, gamybos iki pardavimo po-palaikydama nedidelę-paketinę bandomąją gamybą ir didelio-pritaikymą. Tai užtikrina trumpą pristatymo ciklą ir kontroliuojamas išlaidas. Per pasaulinį logistikos tinklą ir vietines aptarnavimo komandas jis siūlo efektyvius ir stabilius puslaidininkinės įrangos grafito įvorių sprendimus, padedančius užtikrinti ilgalaikį-stabilų didelio tikslumo procesų veikimą.
Populiarus Žymos: grafito įvorės puslaidininkinei įrangai, Kinijos grafito įvorės puslaidininkinės įrangos gamintojams, tiekėjams, gamykloms