Pagrindinės medžiagos ir konstrukcijos
1) Aukšto -grynumo izostatinio presavimo grafito tiglis (pageidautina vakuuminėse krosnyse)
Vienodas trimatis{0}} suspaudimas, tanki struktūra, gera izotropija, mažas poringumas, didelis tankis ir itin mažas priemaišų kiekis; naudojamas puslaidininkiams, SiC kristalams auginti ir didelio{1}}grynumo metalams lydyti.
2) Impregnuotas tankus grafito tiglis
Dervos / akmens anglių deguto impregnavimas poroms užsandarinti, geresnis oro sandarumas, didelis ekonomiškumas{0}}; naudojamas įprastiniam vakuuminiam terminiam apdorojimui ir kietųjų lydinių sukepinimui.
3) SiC/BN dengtas grafito tiglis
Tanki SiC/BN danga ant vidinės sienos, anti-oksidacija, anti-prilipimas, anti-anglies tarša ir atsparumas metalo skysčio erozijai; gali trumpam liestis su oru, ilgesnis tarnavimo laikas.
Pagrindinė savybė
1. Ypatingai-aukštas grynumas, ypač mažas dujų išmetimas (vakuumas yra svarbiausia)
Fiksuota anglis: 99,9 % (3N) / 99,95% (4N) / 99,99% (5N)
Pelenų kiekis: 50 ppm arba lygus (4N), mažesnis arba lygus 10 ppm (5N); Metalų priemaišos (Fe, Si, Al ir kt.) Mažiau nei 5–10 ppm arba lygi
Aukštos-temperatūrinės vakuuminės dujos: bendra lakiųjų medžiagų suma, mažesnė arba lygi 0,005 % 1600 laipsnių kampu, priemaišų išsiskyrimas Mažiau arba lygus 5 ppm, neužteršia lydalo / ruošinio, nepažeidžia vakuumo laipsnio
2. Atsparumas aukštai temperatūrai, stiprus terminis stabilumas
Ilgalaikis-laikas vakuume / inertinėje atmosferoje: 2200 laipsnių; Trumpalaikė riba: 2800 laipsnių
Oras (be dangos): mažesnis arba lygus 450 laipsnių; SiC danga: 1800 laipsnių kampu galima naudoti trumpą laiką
Šiluminio plėtimosi koeficientas (25–1000 laipsnių): 1,8–2,2×10⁻⁶ / laipsnis (itin žemas); Šiluminio ciklo deformacija Mažesnė arba lygi 0,01 mm/m, nėra įtrūkimų, nėra deformacijos
Gamybos procesas
Didelio-grynumo grafito milteliai → Šaltasis izostatinis presavimas → 2800–3000 laipsnių aukštos-temperatūros grafitinimas → Impregnavimas ir tankinimas (neprivaloma) → Tikslus CNC apdorojimas → SiC/BN danga (nebūtina) → Valymas, džiovinimas, nuotėkio aptikimas → Kokybės patikra (COA, SGS)
Pagrindinės taikymo sritys
Puslaidininkiai / fotovoltinė medžiaga: SiC monokristalų auginimas, silicio medžiagos lydymas, plokštelių atkaitinimas, PECVD, terminio lauko tiglis
Vakuuminė metalurgija: titanas, volframas, molibdenas, taurieji metalai, retųjų metalų vakuuminis lydymas / distiliavimas
Miltelinė metalurgija: cementinis karbidas, neodimio geležies boras, keramikos vakuuminis sukepinimas
Vakuuminis terminis apdorojimas: aukštos temperatūros-lydiniai, specialus plienas, vakuuminis grūdinimas / litavimas
Pasirinkimo pasiūlymai:
Itin-didelis vakuumas (nuo 10⁻⁵ iki 10⁻⁶ Pa) + puslaidininkis / didelio-grynumo medžiagos → 5N didelio-grynumo izostatinis grafito tiglis
Įprastos vakuuminės krosnys, sukepinimas / lydymas → 4N izostatinis / impregnuotas grafito tiglis (didelis sąnaudų{1}}efektyvumas)
Atsparus oksidacijai, metalo skysčio erozijai, nelipnus → SiC/BN padengtas grafito tiglis
| Prekė | Aukšto{0}}grynumo izostatinis | Impregnuotas | Padengtas SiC | Būklė |
|---|---|---|---|---|
| Fiksuota anglis | Didesnis arba lygus 99,95 % / 99,99 % | Didesnis arba lygus 99,9 % | Didesnis arba lygus 99,95 % | RT |
| Tūrinis tankis | 1,85–1,92 g/cm³ | 1,75–1,85 g/cm³ | 1,88–1,92 g/cm³ | RT |
| Poringumas | Mažiau arba lygus 1,5 % | Mažiau arba lygus 3 % | Mažiau arba lygus 1,5 % | RT |
| Nepertraukiama temperatūra (vakuuminis) | 2200 laipsnių | 2100 laipsnių | 2200 laipsnių | Ar/N2 |
| CTE (25–1000 laipsnių) | 1,8–2,2×10⁻⁶/ laipsnis | 2,0–2,5 × 10⁻⁶/ laipsnis | 1,9–2,3×10⁻⁶/ laipsnis | / laipsnis |
| Šilumos laidumas | 150–180 W/(m·K) | 120–150 W/(m·K) | 140–170 W/(m·K) | RT |
Populiarus Žymos: Vakuuminių krosnių grafito tigliai, Kinija vakuuminių krosnių grafito tiglių gamintojai, tiekėjai, gamykla
